(Light Detection And Ranging, LiDAR)是供给高精度、高速率光学勘探与传感的首要解决计划。在是完成雷达勘探传感功用的中心。完成光束扫描的技能计划分为无源光束扫描与有源光束扫描。无源光束扫描包括半固态式的微机电(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)激光雷达,其经过机械滚动完成空间光束扫描;全固态式光学相控阵(Optical Phased Array, OPA),其经过改动波导的几许形状或折射率散布,完成光束的偏转和无机械扫描。与现有MEMS和OPA等无源扫描计划不同的是,有源光束扫描(Active beam scanning)运用自动发射的光源来进行扫描,可以有显着效果地提高体系的能量转化功率,提高输出功率并下降空间体系杂乱程度。
近来,中国科学院半导体研究所郑婉华院士团队联合北京大学彭超杰青团队等,根据光子晶面子发射激光器(Photonic Crystal Surface Emitting Laser, PCSEL)完成了电注入有源激光空间光束扫描。该结构以AlGaInAs量子阱为增益介质,使用有限尺度光子晶体将接连能带量子化为离散形式,得到对应远场不同发散角激射的多阶形式;结合载流子调控,使得不同阶形式在不同注入电流下激射输出,以此来完成有源光束扫描。电注入PCSEL为二维有源激光空间扫描雷达供给了元器件支撑。
使用电流源高速驱动激光器,完成高达1 MHz速率的光束扫描,相较于传统MEMS计划,扫描速率得到了一到两个数量级上的提高。该激光器可以提高传感的并发规划、灵敏度,并下降功耗。一方面,该激光器是面向激光雷达、激光成像、激光传感范畴最具潜力的技能道路之一,为有源相控阵雷达供给了新调控机制;另一方面,其面发射特性在传感勘探、光子集成及大规划阵列化范畴也具有共同优势。
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